一、日本 Applics OZG-3305、 OZG-3306 高精度紫外式臭氧气体浓度计 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Applics OZG-3305（中低量程）、OZG-3306（宽量程）臭氧浓度分析仪 |
| 检测原理 | 254nm紫外分光吸收光学检测，无电化学传感耗材，无长期零点漂移 |
| 量程区分 | OZG-3305：中低浓度臭氧监测；OZG-3306：宽量程，覆盖低至高浓度工艺 |
| 核心结构 | 内置恒温光学检测腔+微型负压采样泵，全防腐特氟龙/不锈钢采样气路 |
| 核心应用 | 材料、半导体、催化实验室臭氧工艺在线浓度监测、臭氧发生器配套标定 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 标准规格 |
|---|---|
| 温控设计 | 光学检测腔内置恒温模块，消除环境温差造成的测量数值偏移 |
| 采样模式 | 内置微型负压抽气泵，支持真空腔体旁路微量取样，无需高压载气 |
| 数据输出 | 前置数码本地实时数显；模拟电压/电流 + RS485数字通讯双路同步输出 |
| 气路防腐 | 整机采样管路、阀件全部采用耐臭氧氧化不锈钢与特氟龙材质 |
| 联动功能 | 通讯接口可对接同品牌臭氧发生器，实现臭氧浓度闭环自动调节 |
| 安装方式 | 标准台式机架机箱，既可桌面平放，也支持工业机柜导轨固定安装 |
| 运行能力 | 支持7×24小时不间断在线臭氧浓度连续监测、间歇式取样标定两用 |
| 拓展配套 | 真空旁路取样阀组、上位机数据采集软件、标准臭氧校准气源、机柜安装支架可选加装 |
三、产品核心性能优势
1. 紫外光学无损检测，无电化学传感器，长期稳定免频繁耗材更换
采用紫外分光吸收法检测臭氧浓度，不依靠电解液电化学传感芯片，不存在传感器老化、零点漂移、电解液干涸失效问题，长年连续在线监测仅需定期清洁光路，大幅减少耗材采购与停机标定工时。
2. 双量程机型按需选型，完整覆盖实验室各类臭氧工艺浓度区间
OZG-3305针对材料改性、光电老化等低中浓度臭氧工况，性价比更高；OZG-3306拓宽检测量程，适配大功率臭氧发生器、半导体晶圆高浓度清洗工艺，科研团队可根据自身实验臭氧浓度精准匹配机型，避免量程过剩或不足。
3. 恒温密闭光学检测腔，环境温变不干扰测量精度，复测一致性好
核心检测光路集成独立恒温控制系统，实验室季节温差、设备自身散热升温不会改变光学检测基准，同一气源多次采样复测数值偏差极小，满足变量对比类科研实验数据可追溯、可复现要求。
4. 负压微量采样泵，适配真空管式炉、真空腔体旁路取样监测
自带微型负压抽气装置，无需前端高压载气增压，可直接从低压真空反应腔体抽取微量臭氧样气送入检测腔，解决传统正压进气检测仪无法适配真空工艺监测的痛点。
5. 全防腐耐臭氧气路，长期通入强氧化臭氧无管路渗漏、光路污染
臭氧具备氧化腐蚀性，整机内部所有接触气体的管路、密封件、阀件均选用专用耐氧化不锈钢与特氟龙材质，长时间连续通臭氧运行不会出现管路硬化、气体渗漏、镜片污染衰减故障。
6. 本地直读+双路信号输出，人工巡检、自动化产线采集两用
机身正面数码管实时展示瞬时臭氧浓度，现场实验人员无需配套软件即可直观读取数值；同步提供模拟量与RS485数字通讯两路输出，可接入PLC、工控电脑自动记录全程浓度曲线，完整留存工艺实验数据用于报告归档。
7. 可与臭氧发生器闭环联动，自动稳定腔体臭氧浓度
设备通讯协议适配Applics GT系列臭氧发生器，检测仪实时反馈实测腔内臭氧浓度，发生器自动上调/下调臭氧输出功率，无需人工反复手动调节参数，全程维持工艺所需恒定臭氧浓度，降低人工值守操作工作量。
四、日本 Applics OZG-3305、 OZG-3306 高精度紫外式臭氧气体浓度计 适用行业与应用场景
高校材料科学实验室：二维材料、纳米薄膜臭氧表面氧化亲水改性工艺实时浓度监测
半导体光电子研发部门：硅/GaN晶圆臭氧干法清洗、光电器件臭氧加速老化浓度闭环监控
环境催化科研团队：大气VOC臭氧氧化降解模拟实验、催化反应尾气臭氧含量连续检测
臭氧设备配套标定工位：GT系列实验室臭氧发生器出厂、实验前输出浓度精准校准标定
高分子新材料实验室：塑料薄膜臭氧接枝改性实验恒定臭氧浓度持续在线监控
真空工艺研发实验室：真空管式炉、真空反应腔体旁路微量臭氧取样浓度实时检测
