一、日本 analyzer TB-Ⅳ TB-ⅣN 系列 真空气氛用氧传感器 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | analyzer TB-Ⅳ / TB-ⅣN系列 真空气氛用氧传感器 |
| 检测芯体 | 真空低压工况专用微量低氧电化学传感芯体，量程0~1000ppm O₂可细分定制 |
| 安装结构 | 标准真空密封一体式法兰，配套密封垫圈，适配各类真空腔体侧壁开孔装配 |
| 配套适配 | 专用信号匹配C-28C单通道、C-48双通道氧传感控制单元使用 |
| 核心应用 | 半导体真空镀膜、锂电真空烧结、金属真空热处理密闭腔体微量氧泄漏监测 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 标准规格 |
|---|---|
| 量程范围 | 标准0~1000ppm O₂，可定制0~50ppm、0~200ppm细分微量低氧量程 |
| 真空适配 | 适配中低压力真空腔体稀薄惰性气体环境，法兰结构维持腔体真空密闭 |
| 信号传输 | 输出专用原始传感信号，搭配真空专用屏蔽信号线接入配套控制单元 |
| 校准模式 | 搭配C系列控制单元完成零点高纯氮+量程微量标气两点完整校准 |
| 防护配置 | 探头感应端内置前置过滤防护结构，阻挡真空溅射颗粒物附着传感芯体 |
| 型号区分 | TB-Ⅳ基础款适配热处理真空炉；TB-ⅣN洁净优化款适配半导体镀膜真空腔体 |
| 机身材质 | 耐腐蚀金属法兰壳体，耐受真空腔内温和高温、惰性气氛腐蚀 |
| 运行模式 | 搭配配套控制单元实现7×24小时真空腔体连续在线微量氧监测 |
三、产品核心性能优势
1. 真空低压专用传感芯体，稳定读取稀薄真空气氛微量氧数值
针对真空腔体低压稀薄气体环境优化电化学电极结构，常压通用氧探头在真空低压环境易出现读数漂移、响应迟缓，本系列探头可稳定捕捉真空腔内ppm级微量氧杂质，及时反馈腔体法兰密封泄漏、惰性供气纯化失效问题，提前规避真空工艺工件氧化报废。
2. 通用标准真空法兰，装配后不破坏腔体真空密闭环境
采用行业通用规格真空法兰底座，配套配套弹性密封垫圈，新旧真空烧结炉、镀膜机腔体无需二次加工开孔，停机泄压后即可快速锁紧装配，法兰接缝密封性能稳定，装配完成抽真空无泄漏，降低真空设备改造施工难度。
3. 分体隔离布局，电控元件远离真空高温、溅射污染区域
氧感应探头整体伸入真空腔体内部采集气氛，信号线缆通过真空密封端子引出腔体，外部连接放置在常压无尘电控柜内的C系列控制单元；显示、告警、信号转换电控元件隔离真空腔内高温、溅射粉尘污染环境，减少电子元件老化损耗。
4. 前端内置过滤防护，减少真空溅射粉尘造成的探头维护频次
探头感应端配置小型可拆卸过滤防护结构，可阻挡真空金属烧结、光学镀膜过程产生的溅射粉末、有机挥发物附着在传感电极表面，缓解杂质堆积带来的测量基线漂移，延长真空设备开盖清理维护周期。
5. 全系列兼容C系列控制单元，成套监测系统无需额外转换模块
探头输出原始传感信号与C-28C、C-48控制单元匹配，仅需在仪表操作面板选择对应TB系列探头型号即可完成参数适配，无需采购信号转换、放大中间模块，一套电控仪表可灵活搭配多支真空氧探头组网监控多台真空炉。
6. 真空专用屏蔽传输线缆，抑制真空设备电磁干扰数值跳变
配套真空出线专用多层屏蔽信号线，真空设备内部溅射电源、真空泵运转电机易产生交变电磁干扰，屏蔽结构可稳定传输微弱传感信号，减少中控端氧数值无规律跳变、误告警触发等故障。
7. 两款细分型号，匹配不同产线洁净管控标准按需选型
TB-Ⅳ基础款结构适配粉末冶金、锂电热处理真空烧结炉；TB-ⅣN在探头壳体、过滤结构做洁净优化处理，无多余析出杂质，适配半导体晶圆、光学镜片高洁净真空镀膜腔体，客户可根据制程洁净等级自由选型。
四、日本 analyzer TB-Ⅳ TB-ⅣN 系列 真空气氛用氧传感器 适用行业与应用场景
半导体晶圆制造产线：光学钝化膜、介质膜真空镀膜腔体微量氧密封泄漏持续在线监测
新能源锂电材料车间：正负极粉体真空退火烧结炉密闭腔体惰性气氛氧杂质管控
金属精密热处理加工：不锈钢、钛合金真空退火、钎焊炉内部保护气氛氧含量监控
光学元件镀膜生产线：玻璃镜片、光学薄膜真空沉积腔体微量氧实时采集
实验室材料科研设备：高温真空管式反应炉、小型真空实验腔体气氛监测
粉末冶金烧结车间：金属合金粉体真空还原煅烧密闭炉腔体微量氧检测
