产品概述
日本 Super-Clean Heater 超洁净石英加热器QH 系列，是日本专为半导体、液晶面板等制造业研发的超洁净加热元件。产品以高纯度石英玻璃为主体，内置真空密封的钨丝 / 钼丝加热元件，杜绝金属污染，同时具备高耐温、优异热均匀性、强耐腐蚀性等特点，是半导体扩散、氧化、退火等核心工艺的关键加热部件，为制程提供稳定、洁净的加热解决方案。
核心性能与设计亮点
- 超洁净无金属污染，适配制程采用 SiO₂纯度≥99.99% 的高纯度透明石英玻璃，加热丝真空密封在石英内部，无任何金属部件接触工艺环境，零金属离子溶出，适配 12 英寸晶圆制造、制程等超高标准工艺，满足半导体行业 SEMI 标准，从源头避免金属污染对芯片良率的影响。
- 高耐温与优异热均匀性石英本体耐温高达 1200℃，可长期稳定工作在 800-1000℃工艺温度；优化的加热丝布局，实现工艺区域 ±5% 的热均匀性，确保晶圆、面板加热温度一致，有效提升工艺良率与产品一致性。
- 强耐腐蚀性，适配严苛工艺环境石英材质耐强酸、强碱、HF等半导体常用腐蚀性化学品，可在湿法工艺、刻蚀、清洗等严苛环境中稳定使用，使用寿命长，大幅减少设备维护与元件更换成本，适配半导体工厂 24 小时连续生产需求。
- 真空密封结构，多场景适配采用真空密封工艺，漏率≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，可直接用于真空腔体、常压腔体等各类工艺环境，适配半导体扩散、氧化、退火、CVD 等多类核心工艺，一台元件覆盖多类加热需求。
- 定制化设计，适配各类设备支持直型、槽型、板型等多种结构定制，可根据客户腔体尺寸、功率需求、安装方式量身定制，适配各类半导体 / 液晶制造设备，无需改造设备结构，降低现场施工成本。
日本 Super-Clean Heater 超洁净石英加热器QH 系列 技术参数与配置
设备额定功率覆盖 100W~5000W，额定电压可定制，使用温度 1200℃；标配高纯度石英本体、真空密封加热丝、接线端子，可根据客户需求定制尺寸、功率、结构；提供原厂合规性证明文件，适配晶圆厂审计要求。
售后服务
产品提供原厂技术支持，可协助客户完成选型、安装调试；提供定制化设计、维修、更换等全生命周期服务，保障设备长期稳定运行。
