产品概述
日本 EKUSA 半导体用超纯水在线加热器 EHS 型是专为半导体、电子等制造业研发的高纯度流体加热设备。产品以全 PFA 接液结构为核心，杜绝杂质溶出，搭配 PID 精准控温与长寿命低温加热设计，为半导体湿法工艺、超纯水系统提供稳定、高纯度的加热解决方案，是 12 英寸晶圆制造等工艺的核心配套设备。
核心性能与设计亮点
- 全 PFA 接液，高纯度保障所有与流体接触的部件均采用 PFA 氟树脂材质，无任何金属部件接触流体，避免金属离子、杂质溶出，满足半导体行业对超纯水、化学品的纯度要求，可安全用于强腐蚀性化学品的加热，适配各类严苛工艺场景。
- 低温长寿命设计，降低运维成本采用低功率密度、低温型加热结构，大幅降低加热器老化、损坏风险，实现超长使用寿命，无需频繁更换加热器，减少设备维护成本与工厂停机时间，适配半导体工厂 24 小时连续运行需求。
- PID 精准控温，工艺稳定性强搭载 PID 智能温控系统，在流量稳定条件下控温精度可达 ±1℃，确保超纯水、化学品温度恒定，精准匹配半导体湿法清洗、蚀刻等工艺对温度的严苛要求，有效提升工艺良率与产品一致性。
- 紧凑结构，安装灵活便捷设备整体设计紧凑，占用空间小，可直接集成到半导体超纯水管道系统中，安装灵活，适配各类工厂布局，无需大规模改造管路，降低现场施工成本。
- 多重安全防护，远程可控配备超温、过流、漏电等多重安全保护机制，异常工况自动停机，保障设备与工艺安全；同时支持外部信号远程控制，可直接接入工厂自动化系统，实现集中管控，适配智能工厂需求。
- 宽适用性，多场景兼容不仅可加热超纯水，还可适配半导体常用腐蚀性化学品，一台设备覆盖多类工艺流体加热需求，降低采购成本，提升设备利用率。
日本 EKUSA 半导体用超纯水在线加热器 EHS 型 技术参数与配置
设备额定功率覆盖 25kW~150kW，加热温度 90℃，PID 控温精度 ±1℃，工作压力 0.4MPa；标配主机、温控系统、PFA 加热管路、SUS304 机架、操作面板等，开箱即可接入管道系统使用；支持定制不同功率、接口规格、控温方案，满足客户个性化需求。
售后服务
产品提供原厂技术支持，可协助客户完成安装调试、工艺适配、使用培训；提供设备维修、配件更换、定期校准等全生命周期服务，保障设备长期稳定运行。
