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日本sanyu electron桌面涂布机SC-708系列

日本sanyu electron桌面涂布机SC-708系列

更新日期:2021-09-30

访问量:269

厂商性质:经销商

生产地址:

简要描述:
日本sanyu electron桌面涂布机SC-708系列
大型基板全镀膜的离子溅射设备
溅射靶材可提供相隔 1 英寸的尺寸,例如 4'/5'/6'/7'/8'。
在形成微通道流路以及溅射薄膜制造时支持 PDMS 表面处理
配备镀膜模式/蚀刻模式

日本sanyu electron桌面涂布机SC-708系列

特征

  • 大型基板全镀膜的离子溅射设备

  • 溅射靶材可提供相隔 1 英寸的尺寸,例如 4'/5'/6'/7'/8'。

  • 在形成微通道流路以及溅射薄膜制造时支持 PDMS 表面处理

  • 配备镀膜模式/蚀刻模式



应用/结果示例

  • 适用于各种设备的电极膜附件

  • 反光膜制作应用

  • 样品表面亲水化处理应用(蚀刻方式)

  • PDMS表面处理应用(蚀刻模式)等

日本sanyu electron桌面涂布机SC-708系列


基本规格

阴极φ4-8英寸/2极对向电极
溅射电流
蚀刻电流
0-50mA(包括电流表)
溅射电压
蚀刻电压
0.8 / 1.4kV
气体引入机制针阀
真空泵直联回转泵:100l/min(带自动漏气)
腔室尺寸内径φ240mm x D240mm(SUS制)
样品交换方式前门开闭式
样本量最大φ4 ~ 8 英寸
尺寸(宽/深/高)主体:282/450 / 440mm
RP:460/175 / 265mm
重量身体:约20kg
RP:23kg


特殊规格示例

SC-704AT
SC-704AT
膜厚可控全自动机型

SC-704MC
SC-704MC
磁控阴极采用型号
(无蚀刻/交流溅射功能)



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