日本sanyu electron桌面涂布机SC-708系列
特征
大型基板全镀膜的离子溅射设备
溅射靶材可提供相隔 1 英寸的尺寸，例如 4'/5'/6'/7'/8'。
在形成微通道流路以及溅射薄膜制造时支持 PDMS 表面处理
配备镀膜模式/蚀刻模式
应用/结果示例
适用于各种设备的电极膜附件
反光膜制作应用
样品表面亲水化处理应用（蚀刻方式）
PDMS表面处理应用（蚀刻模式）等
日本sanyu electron桌面涂布机SC-708系列
基本规格
| 阴极 | φ4-8英寸/2极对向电极 |
| 溅射电流 蚀刻电流 | 0-50mA（包括电流表） |
| 溅射电压 蚀刻电压 | 0.8 / 1.4kV |
| 气体引入机制 | 针阀 |
| 真空泵 | 直联回转泵：100l/min（带自动漏气） |
| 腔室尺寸 | 内径φ240mm x D240mm（SUS制） |
| 样品交换方式 | 前门开闭式 |
| 样本量 | φ4 ~ 8 英寸 |
| 尺寸（宽/深/高） | 主体：282/450 / 440mm RP：460/175 / 265mm |
| 重量 | 身体：约20kg RP：23kg |
特殊规格示例
 SC-704AT 膜厚可控全自动机型 |  SC-704MC 磁控阴极采用型号 （无蚀刻/交流溅射功能） |
