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日本sanyu electron桌面快速涂布机 SC 系列

日本sanyu electron桌面快速涂布机 SC 系列

更新日期:2021-09-30

访问量:201

厂商性质:经销商

生产地址:

简要描述:
日本sanyu electron桌面快速涂布机 SC 系列
直流溅射类系列中最小的超紧凑型号
配备皮拉尼真空计,确保成膜条件的再现性
标配手动快门
TS 之间的距离可以通过专用的样品台和载物台轻松改变。
由于它可以镀上钨,因此它也可以用于制备高分辨率 SEM 的样品。

日本sanyu electron桌面快速涂布机 SC 系列


特征

  • 直流溅射类系列中最小的超紧凑型号

  • 配备皮拉尼真空计,确保成膜条件的再现性

  • 标配手动快门

  • TS 之间的距离可以通过专用的样品台和载物台轻松改变。

  • 由于它可以镀上钨,因此它也可以用于制备高分辨率 SEM 的样品。



应用/结果示例

  • 适用于各种设备的电极膜附件

  • 用于制造反射薄膜等

日本sanyu electron桌面快速涂布机 SC 系列

基本规格

阴极φ2寸直流磁控管/平板型电极
适用对象Au / Pt / Au-Pd / Pt-Pd / Ag / Pd / W / Ni / Mo / Cr / Ti / Al
压力测量皮拉尼真空计
压力控制针阀手动控制
引入直径 外径 φ6mm 一键式接头
工艺气体氩气
真空泵直联回转泵:20L/min(带自动漏液)
腔室尺寸内径φ90×D90mm(SUS制)
样品交换方式前门开闭式
尺寸(宽/深/高)机身:160/450 / 290mm RP:295.5 / 156 / 199.5mm
重量身体:9 公斤 反相:9 公斤


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