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日本2ω法纳米薄膜导热仪TCN-2ω

日本2ω法纳米薄膜导热仪TCN-2ω

更新日期:2024-05-14

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厂商性质:经销商

生产地址:

简要描述:
日本2ω法纳米薄膜导热仪TCN-2ω
该装置是目前世界上唯yi使用2ω法测量纳米薄膜厚度方向热导率的商用装置。与其他方法相比,样品制作和测量更容易。

日本2ω法纳米薄膜导热仪TCN-2ω

该装置是目前世界上唯yi使用2ω法测量纳米薄膜厚度方向热导率的商用装置。与其他方法相比,样品制作和测量更容易。

  • 量化低K绝缘膜的热阻,用于半导体器件的热设计

  • 绝缘膜的开发与散热的改善

  • 热电薄膜应用评价

特征

  • 可以测量在厚度方向上形成在基板上的 20 到 1000 nm 的薄膜的热导率。

  • 使用热反射法通过温度幅度检测实现测量

  • 测量样品的简单预处理

规格

测量温度转播时间
样品尺寸宽度 10 毫米 x 长度 10 至 20 毫米 x 厚度 0.3 至 1 毫米(板)
测量气氛在真空中


测量原理

论文“绝热边界条件下2ω法评估薄板样品的热导率"

当以 f/Hz 的频率加热金属薄膜时,加热量以 2 f/Hz 的频率变化。
金属薄膜(0)-薄膜(1)-衬底(s)三层体系中金属薄膜表面的温度变化T(0)在热扩散条件下是一维的充分通过金属薄膜/薄膜,下面的公式用于表示传热模型的解析解。

(Λ: 导热系数 W m -1 K -1 , C: 体积比热容 JK -1 m -3 , q: 每体积热量 W m -3 , d: 厚度 m, ω: 角频率 (= 2πf) / 秒-1 )

由于实数解(同相幅度)包含薄膜的信息,因此在相同条件下在不同频率下进行测量,同相幅度(2ω)-0.5成正比。
薄膜的热导率λ 1由下式获得。
(M:斜率,n:截距)

TCN-2ω示意图

TCN-2ωSiO 2薄膜的测量结果

薄膜的评价

测量样品



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