日本hrd-therma微小区域热扩散率检测TM3
特征
热物理特性显微镜是一种测量热扩散率的设备，热扩散率是热物理特性值之一。
它是一种可以用点、线和面测量样品的热特性的设备。
还可以测量微米量级的热物理特性分布，这在传统的热物理特性测量设备中被认为是困难的。
它是世界上一个能够对热物理特性进行非接触和高分辨率测量的设备。
3 μm的检测光斑直径可在微小区域内进行高分辨率热物理特性测量（点/线/面测量）。
由于可以通过改变深度范围进行测量，因此可以从薄膜/多层膜到块状材料进行测量。
您还可以测量基板上的样品。
使用激光进行非接触式测量。
可以检测薄膜下的裂纹、空隙和剥落。
热物理显微镜测量原理（概述）
在样品上形成金属薄膜，并用加热激光定期加热。
由于金属的反射率具有随表面温度变化的特性（热解法），因此通过捕捉与加热激光同轴照射的检测激光的反射强度变化来测量表面的相对温度变化。做。
热量从金属薄膜传播到样品，导致表面温度响应出现相位延迟。该相位延迟取决于样品的热特性。通过测量加热光和检测光之间的相位延迟来获得热扩散率。
主要规格
| 名称/产品名称 | 热物理显微镜/热显微镜 |
|---|---|
| 测量模式 | 热物性分布测量（1D、2D、1点） |
| 测量项目 | 热扩散率，（热扩散率），（热导率） |
| 检测光斑直径 | 约 3 μm |
| 1点测量标准时间 | 10 秒 |
| 待测薄膜 | 厚度从几百纳米到几十微米 |
| 重复精度 | Pyrex 和硅的热扩散率小于 ± 10% |
| 样本 | 1. 样品架 30 mm x 30 mm 厚度 5 mm 2. 板状样品 30 mm x 30 mm 或更小且 3 mm 或更小
|
| 工作温度限制 | 24°C±1°C（根据设备内置的温度传感器） |
| 舞台移动距离 | ・ X 轴方向 20mm ・ Y 轴方向 20mm ・ Z 轴方向 10mm |
| 加热用激光 | 半导体激光波长：808nm |
| 检测用激光 | 半导体激光波长：658nm |
| 电源 | 交流 100V 1.5kVA |
| 标准配件 | 样品架，参考样品 |
| 选项 | 光学平台、空调、空调房、溅射设备 |
