日本pureron低压力损失金属气体过滤器UCD系列
日本pureron低压力损失金属气体过滤器UCD系列
金属气体过滤器
全部采用SUS316L材质制造，紧凑式设计、高过滤精度、耐高温（460℃）用于ULSI制造的高性能气体过滤器。
- UCD系列： 圆盘状部件过滤精度0.003μm 推荐流量10～100L/min
- RGF系列： 管状部件 过滤精度0.1～10μm 推荐流量40～60L/min
- UCS-M系列： 管状部件 过滤精度0.003μm 推荐流量15～250L/min
低压力损失金属气体过滤器 UCD系列
- 过滤器材料全部采用SUS316L，不用担心腐蚀和中间产物，同时具备较高的耐热性能。
- 使用氮气（N2）输入，当过滤器输入侧压力为0.2MPa、流量为90SLM时，输出侧压力损失△为0.05MPa。
- 固定或脉动方式下过滤精度经CNC确认达到0.003μm，实现了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。
| 过滤精度 | 0.003μm |
|---|---|
| 推荐流量 | 10～100ℓ/min（各型号区别：参考流量特性曲线) |
| 使用压力 | 0.98MPa(142PSIG) at20℃ |
| 容许差压 | 0.7MPa(101.5PSIG) at20℃ |
| 使用温度 | 460℃ |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 |
| 构成材料 | 外罩:SUS316L（电解研磨处理）元素:SUS316L 内表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 |
| 连接零件 | 1/4"Gasket seal、其它 |
