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BloomRay薄膜表面缺陷照明装置

BloomRay薄膜表面缺陷照明装置

更新日期:2026-09-28

访问量:27

厂商性质:经销商

生产地址:日本

简要描述:
日本株式会社Particle Labs BloomRay薄膜表面缺陷照明装置,是一款专为光学薄膜、半导体晶圆及高精度光学元件设计的高对比度表面缺陷检测照明系统。该装置采用超指向性光学设计,通过精密透镜阵列与准直光学系统,发射出极低发散角的平行光束,精准控制光线入射角度,将薄膜表面的微小划痕、异物和微尘转化为光学对比度

日本株式会社Particle Labs BloomRay薄膜表面缺陷照明装置 【产品概述】

BloomRay 超指向性薄膜检查照明装置由日本株式会社 Particle Labs 研发制造。该设备突破了传统照明在大面积薄膜检测中容易产生杂散光干扰的瓶颈,采用超指向性光场调控技术,通过内部精密的透镜阵列与准直光学系统,发射出具有指向性、极低发散角的平行光束。这种定向光源能够根据薄膜的物理特性(如折射率、透光率)进行特定的角度设定,缺陷边缘的衍射和散射信号,配合高分辨率工业相机,实现纳米级至微米级缺陷的高反差成像。

日本株式会社Particle Labs BloomRay薄膜表面缺陷照明装置 【核心性能与优势】

  1. 超指向性光场调控技术:传统照明在大面积薄膜检测中容易产生杂散光干扰。BloomRay 装置通过内部精密的透镜阵列与准直光学系统,发射出具有指向性、极低发散角的平行光束。这种定向光源能够根据薄膜的物理特性进行特定的角度设定,缺陷边缘的衍射和散射信号
  2. 微尘与划痕的高反差成像:利用全反射、漫反射与定向照明的结合,当光线以特定角度照射到透明薄膜表面时,平整区域会透光或反光,而极其微小的划痕(Scratch)或附着物(Particle)会瞬间截断光路。配合高分辨率工业相机,系统能实现纳米级至微米级缺陷的"黑底亮斑"或"亮底黑斑"成像。
  3. 均匀大面积照明阵列:在卷对卷(R2R)或大面积玻璃基板的检测中,边缘光衰减是痛点。BloomRay 采用多通道均匀化光路设计,即使在大面积检测视场下,也能保持中心与边缘照度的一致性与均匀性,确保全幅面的量化评估标准统一。
  4. 低热辐射与无损检测:针对光刻胶、聚合物薄膜等对温度极其敏感的材料,该照明装置采用了低热量、高稳定性的光源,并配合高效的主动散热设计,确保在长时间高亮度的检测过程中,不会因热膨胀导致薄膜发生物理形变。

【技术参数表】

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参数项目技术规格
产品型号BloomRay
品牌Particle Labs(日本株式会社)
照明方式超指向性平行光束照明
光学系统精密透镜阵列 + 准直光学系统
光源类型低热辐射高稳定性光源
光束特性极低发散角、高指向性
均匀性大面积视场中心与边缘照度一致
散热方式高效主动散热设计
工作电源AC 100V - 240V,50/60Hz
适用工件光学薄膜、半导体晶圆、光罩、光学玻璃等透明/半透明材料

【典型应用领域】

  • 显示面板与光学薄膜:用于偏光片(Polarizer)、扩散膜(Diffuser)、增亮膜(BEF)以及柔性OLED盖板玻璃的表面微尘、脏污及压伤检测。

  • 半导体与精密光学元件:用于晶圆(Wafer)、光刻掩模版(Mask/Reticle)、滤光片表面的微小颗粒(Particle)和纳米级划痕(Scratch)的光学筛查。

  • 新能源与功能性薄膜:检测锂电池隔膜、太阳能电池背板、ITO导电薄膜在涂布和制程中的针孔、气泡、异物及涂覆不均等缺陷。


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