ATV 静电吸盘专用压花加工装置

日本株式会社不二制作所 Fuji Manufacturing ATV静电吸盘专用压花加工装置

设备完整信息：国别‑日本｜品牌‑Fuji Manufacturing Co.,Ltd.株式会社不二製作所｜型号‑ATV静电吸盘专用压花加工装置｜设备类型‑半导体ESC静电吸盘专用精密压花加工成套装置

ATV静电吸盘专用压花加工装置，由日本不二制作所Fuji Manufacturing研发制造，属于半导体零部件专用精密加工设备，主要用于陶瓷静电吸盘ESC的表面微压花纹理成型加工。静电吸盘是半导体晶圆工艺当中关键承载部件，吸盘表面的压花微纹理决定晶圆吸附能力、气体散热效果，直接影响半导体生产良率，该设备就是实现该表面纹理加工的专业工艺装备。

整套装备包含加工主机、工件定位工装、专用控制单元，能够对静电吸盘陶瓷基板进行高精度压花处理，保证压花纹理深浅、排布均匀统一。设备既可以用于全新静电吸盘的生产制造加工，也能够对使用后的静电吸盘做表面修复再加工处理。设备针对半导体行业严苛工艺标准设计，加工精度高，重复性稳定，服务于半导体零部件厂商、吸盘再生修复企业、半导体相关科研单位，是晶圆上游零部件生产环节重要工艺设备。

日本株式会社不二制作所 Fuji Manufacturing ATV 静电吸盘专用压花加工装置 技术参数

日本株式会社不二制作所 Fuji Manufacturing ATV 静电吸盘专用压花加工装置 产品核心优势

• 日本Fuji不二制作所原厂设备，深耕半导体精密加工领域；

• 专为静电吸盘ESC开发，实现吸盘表面压花纹理精密成型；

• 加工纹理均匀可控，满足半导体晶圆制程对吸盘的工艺要求；

• 支持新品加工与旧吸盘修复再生两种作业模式；

• 高精度定位工装，工件装夹稳定，加工一致性优异；

• 适配半导体零部件产线以及研发小批量加工场景。

典型应用领域

• ✅半导体零部件厂：全新陶瓷静电吸盘ESC压花生产加工；

• ✅吸盘再生企业：在用静电吸盘表面修复、压花再生处理；

• ✅晶圆配套产业：半导体承载部件工艺开发与试样加工；

• ✅科研院所：半导体静电吸盘相关新材料、新工艺试验研究；

• ✅设备配套厂商：半导体零部件样品试制、工艺验证。