超级宏 SM75 宏观显微镜

日本SoftWorks 超级宏 SM75

超级宏SM75是日本SoftWorks株式会社推出的大视场宏观显微镜系统。在半导体、光学材料、陶瓷基板相关检测工作中，很多被测样品尺寸较大，普通显微镜观察视野狭小，只能看到样品局部，想要查看整片晶圆、整块基板的整体外观，需要反复移动样品，效率低下，还容易遗漏边角位置的缺陷。SM75超级宏显微镜就是针对大面积样品检测场景开发，能够对完整大尺寸试样开展全域成像，无需对工件进行切割破坏，直接完成整片样品的外观筛查工作。

设备依靠高性能光学成像单元，实现大视场下样品全貌采集，既可以查看样品整体状态，也能够放大观察局部位置，识别划痕、表面颗粒、污渍、崩边、斑点等多种外观不良。针对超出单张视野的超大试样，设备支持图像拼接处理，生成完整全景图像，直观呈现整片样品表面情况。配套专业图像分析软件，采集图像之后可以对缺陷位置标记定位，完成尺寸测算，保存图像与检测数据，直接用于实验记录或者质检报告输出。设备广泛用于半导体晶圆检测、陶瓷基板质检、光学元件观测、大型薄膜板材以及各类工业零部件外观检验，既适合企业研发实验室做样品评估，也可以部署在产线完成批量样品的外观初筛，大幅提升大尺寸样品外观检测效率。

日本 SoftWorks（ソフトワークス株式会社）超级宏 SM75 宏观显微镜 技术参数

产品核心优势

• 大视场宏观成像，完整观测大尺寸样品，无需切割拆分试样，保护被测工件；

• 兼顾全貌观察与局部细节识别，快速检出划痕、颗粒、崩边等各类表面外观缺陷；

• 支持图像拼接，生成超大样品全景图，便于对整片样品做整体质量评估；

• 配套图像分析软件，缺陷标记、尺寸测量、数据导出一体化，方便报告整理；

• 日本SoftWorks原装设备，操作简单，同时适配科研实验室和工业产线抽检场景。

日本 SoftWorks（ソフトワークス株式会社）超级宏 SM75 宏观显微镜 主要应用领域

半导体晶圆全域外观检查；陶瓷基板表面缺陷检测；光学元件宏观形貌观测；大型薄膜板材外观筛查；工业零部件外观质量检验。