阿尔卑斯株式会社 纯水药液泵

日本ALPS（阿尔卑斯株式会社）纯水药液泵

纯水药液泵是日本ALPS阿尔卑斯株式会社推出的高纯流体输送专用泵，主要服务半导体、精密化工领域，针对超纯水以及各类化学药液输送场景开发。在半导体湿法工艺当中，药液、超纯水的洁净度直接决定产品良率，如果泵体内部金属部件和药液接触，金属离子析出混入流体，就会造成晶圆污染，带来产品报废问题。这款纯水药液泵针对该痛点优化，过流接触介质部分全部采用耐化学腐蚀非金属材质，避免金属离子溶出污染药液，保障输送流体的高洁净等级。

泵体具备低脉动输送特性，输出流量、压力平稳，不会产生冲击脉动，保护后端精密管路与工艺腔体。整机为紧凑型结构，体积小巧，非常适合集成安装在各类工艺设备内部，不占用过多设备空间。产品耐酸碱、部分有机溶剂，可适配多种工艺介质，广泛用于半导体清洗、蚀刻配套药液输送，同时也可用于科研实验室高纯药剂循环供给。设备运行稳定性好，能够适应工厂长时间连续运转工况，后期维护简单，帮助企业稳定工艺流体供给，降低因为药液污染、流体波动带来的工艺不良。

日本 ALPS 阿尔卑斯株式会社 纯水药液泵 技术参数

日本 ALPS 阿尔卑斯株式会社 纯水药液泵 产品核心优势

• 过流部件耐腐蚀，杜绝金属离子析出，满足高纯药液、超纯水洁净输送；

• 低脉动输出，流量压力平稳，保护后端精密工艺管路；

• 紧凑小巧机身，易于设备整机集成，节省安装空间；

• 兼容酸碱、多种化学药剂，适配半导体湿法多种工艺介质；

• 工业级稳定运行，维护简便，适合工厂长时间连续生产使用。

主要应用领域

半导体湿法清洗工艺；电子化工药液输送；实验室高纯药液循环；精密制造高纯流体供给。