ARIOS阿里奥斯氦气检漏仪｜氦质谱式精密工件密封性检测设备
日本 ARIOS 阿里奥斯 氦气检漏仪 氦质谱密封性检漏设备 产品简介：ARIOS阿里奥斯氦气检漏仪是日本ARIOS阿里奥斯株式会社推出的氦质谱检漏设备，以氦气作为示踪气体，专门针对各类密封工件开展高精度泄漏检测。很多精密零部件肉眼无法识别微小漏缝，普通水压、气压检漏灵敏度不足，无法满足产品品质要求，氦质谱检漏凭借检测灵敏度，可以发现微米级微小漏点。本设备集成真空抽气单元、氦质谱分析模块、触控操作面板以及报警单元，整机一体化装配在移动机架上，现场部署便捷，不需要搭建复杂的外围真空配套。检测时对被测工件内部抽真空，外部喷吹氦气，如果工件存在泄漏，氦气会渗入腔体被设备捕捉，仪器实时计算并显示泄漏率数值。设备支持设置泄漏阈值，工件泄漏超出标准时触发声光报警，实现工件合格与不合格快速筛选。既可以完成定量泄漏率测试，获取量化检测数据，也可以用来做漏点定位，找到工件泄漏具体位置。检测数据可保存归档，方便产品质检记录追溯。设备兼顾实验室研发测试以及工厂产线批量检测，广泛服务半导体行业、真空设备制造、新能源零部件、精密焊接组件等领域，是密封件品质管控的关键检测装备。
技术参数
| 设备品牌 | ARIOS 阿里奥斯（日本） |
| 设备名称 | 氦气检漏仪 |
| 检测原理 | 氦质谱示踪检漏法，氦气作为示踪介质 |
| 整机配置 | 内置真空抽气系统、质谱检测单元、触控操作屏、声光报警、移动机架 |
| 检测能力 | 可定量读取泄漏率，同时支持漏点定位查找 |
| 人机交互 | 触控屏幕，实时显示泄漏率，支持参数、阈值设置 |
| 报警功能 | 泄漏超标声光报警，快速区分合格/不合格工件 |
| 被测工件 | 真空腔体、焊接管路、密封壳体、封装器件、各类密封零部件 |
| 适用场景 | 研发实验室、工厂产线零部件密封性批量质检 |
日本 ARIOS 阿里奥斯 氦气检漏仪 氦质谱密封性检漏设备 产品核心优势
氦质谱检测原理，检测灵敏度高，能够检出普通检漏设备无法识别的微小泄漏；
整机一体化集成，自带抽真空单元，带移动机架，现场安装调试简单，减少配套设备投入；
触控操作界面，参数设置简单，直接读取泄漏率，降低操作人员使用门槛；
具备泄漏阈值设定、声光报警，适合产线批量工件快速筛选，提升检测效率；
兼顾定量检测与漏点定位，既可出具量化泄漏数据，也可查找具体泄漏位置；
适配工业车间工况，运行稳定，检测结果可留存，便于产品质检记录追溯归档。
典型应用领域
半导体真空腔体、工艺管路以及零部件密封检漏；各类真空设备、真空阀门、焊接压力容器密封性测试；新能源电池壳体、密封外壳泄漏检测；换热器、制冷管路、各类焊接组件漏点排查；传感器、精密器件封装外壳密封性质检；所有对密封性能有着严苛要求的工件泄漏测试场景。
