ECE‑S 系列 SUS 外壳型药液加热器

SERA(セラ) ECE‑S系列 SUS外壳型药液加热器｜半导体工艺药液在线恒温加热设备

日本 SERA (セラ) ECE‑S 系列 SUS 外壳型药液加热器 半导体工艺药液在线加热器 产品简介：SERA ECE‑S系列药液加热器是日本SERA推出的管路式药液加热设备，外壳采用SUS不锈钢材质，专门面向半导体、面板行业湿法工艺开发。在湿法清洗、蚀刻工艺中，化学药液的温度直接影响产品良率，同时药液大多具备酸碱腐蚀性，普通加热设备容易被腐蚀，造成金属离子析出污染药剂。ECE‑S系列加热器外壳采用SUS不锈钢结构，防护等级高，能够适应车间腐蚀性潮湿环境；与药液接触部件经过耐腐处理，可适配多种强酸、强碱工艺药液，抑制杂质析出，保证药液洁净度。设备采用管路在线式加热，药液流动过程完成热交换，有效规避局部过热现象，整台设备搭载闭环温控系统，工艺温度可设定，温度输出稳定均匀。设备体积小巧，管路接口标准化，既可以配套新建生产线，也能够对原有药液循环系统进行改造加装，同时内置过热保护功能，发生异常时自动防护，保障整套药液系统安全连续运行，广泛应用半导体、显示面板、精密清洗等行业。

日本 SERA (セラ) ECE‑S 系列 SUS 外壳型药液加热器 半导体工艺药液在线加热器 技术参数

产品核心优势

• SUS不锈钢外壳，抗车间腐蚀潮湿环境，外壳结构坚固耐用；

• 药液接触部位耐酸碱腐蚀，降低金属离子析出，保护药液洁净度；

• 管路在线流动加热，避免局部过热，药液整体温度均匀一致；

• 闭环温控系统，控温精度高，满足半导体湿法严苛工艺要求；

• 标准化管路接口，安装集成简单，适配新项目配套与旧产线改造；

• 过热保护机制，异常自动防护，保障产线长时间连续稳定运行。

典型应用领域

半导体湿法清洗工序药液恒温加热；蚀刻工艺化学试剂加温控温；电子零部件精密清洗药液加热；显示面板制造湿法工艺药剂加热；化工中试、实验室腐蚀性药液温控；各类酸碱药剂循环管路在线加热场景。