Cleaner 紫外臭氧清洗机 UV 臭氧表面处理机

Filgen UV Ozone Cleaner 紫外臭氧清洗机｜UV臭氧表面处理机

日本 Filgen UV Ozone Cleaner 紫外臭氧清洗机 UV 臭氧表面处理机 产品简介：UV Ozone Cleaner为日本Filgen原装紫外臭氧清洗机，属于干式表面处理设备，依靠紫外光源激发生成臭氧，通过光氧化反应分解样品表面有机污染物，完成试样清洗与表面改性，全程不需要酒精、丙酮等化学溶剂，不会产生化学废液。设备搭载185nm、254nm双波段紫外灯管，185nm紫外光促使腔体内氧气生成臭氧，254nm紫外光直接破坏有机物分子链，二者协同作用，高效清除基板表面油脂、手印残留、有机杂质，同时提升材料表面亲水性，改善后续镀膜、粘接、涂层结合力。设备为密闭箱式腔体结构，配置样品放置托盘，将试样放入腔体关门后，设置处理时间即可启动运行；设备带有专用排气接口，可以外接臭氧尾气处理装置，避免臭氧扩散到实验室内，保障操作人员安全。整机台式结构，直接安放于实验台，操作简单，处理工艺可复现，大量应用于光电、半导体、薄膜材料、高分子、高校科研实验室的样品前处理工作。

日本 Filgen UV Ozone Cleaner 紫外臭氧清洗机 UV 臭氧表面处理机 技术参数

产品核心优势

• 日本Filgen原厂设备，光电材料实验室常用干式表面清洗设备，无需化学溶剂，无废液污染；

• 双波段紫外协同臭氧氧化，高效去除基板表面有机残留，同时实现材料亲水化表面改性；

• 密闭处理腔体，配套排气接口，可对接臭氧处理装置，降低实验室臭氧泄漏风险；

• 定时工作模式，处理时间精准可控，实验重复性好，适合科研标准化样品前处理；

• 腔体内部配置样品托盘，硅片、玻璃、薄片试样摆放便捷，兼容多种尺寸试样；

• 台式小型箱体，占用台面空间小，开箱即可投入材料、光电、半导体相关实验。

典型应用领域

半导体光电实验室硅片、ITO导电玻璃、石英基板有机污染物去除；薄膜、涂层实验基底预处理，提高薄膜附着力；高分子材料表面亲水化改性；各类科研试样干式清洗；高校、科研院所材料、化学、光电方向课题样品前处理。