日本 HONDA 本多电子 W‑357BM 系列高频分离型兆声波清洗机 1MHz 半导体晶圆清洗系统 产品概述
W‑357BM系列是日本HONDA本多电子面向半导体洁净工艺开发的高频分离型兆声波清洗系统，由振荡器主机和定制化换能器振板单元组成，工作频率1MHz兆声，温和去除亚微米级微颗粒，对晶圆、镜面工件损伤极低。采用数字闭环振荡控制，长时间连续运行输出稳定；配备4‑20mA模拟量、远程IO、振荡状态检测输出，支持PLC远程控制，振板单元可根据清洗槽尺寸定制，广泛用于洁净车间批量槽式清洗产线集成。
日本 HONDA 本多电子 W‑357BM 系列高频分离型兆声波清洗机 1MHz 半导体晶圆清洗系统 产品核心优势
1MHz兆声工艺，亚微米颗粒去除能力强，空化作用柔和，保护晶圆、镜面等易损伤工件
分离式系统架构，振荡器与振板分开，振板按槽体尺寸定制，适配新建设备与旧产线改造集成
数字闭环振荡控制，频率与功率输出稳定，满足半导体产线长时间不间断运行要求
齐全工业电气接口，4‑20mA、远程IO、振荡检测输出，对接PLC/MES，实现自动化管控
两档功率可选，600W适配中小型槽体，1200W适配大容积批量清洗槽
技术参数
| 项目 | W‑357BM‑600 | W‑357BM‑1200 |
|---|---|---|
| 标称振荡频率 | 1 MHz | 1 MHz |
| 额定输出功率 | 600 W | 1200 W |
| 振荡模式 | 单频稳定振荡 | 单频稳定振荡 |
| 显示单元 | VFD荧光显示屏 | VFD荧光显示屏 |
| 供电规格 | AC200‑240V单相 1200VA | AC200‑240V单相 2400VA |
| 电气接口 | 4‑20mA、远程IO、振荡检测输出 | 4‑20mA、远程IO、振荡检测输出 |
| 系统组成 | 振荡器主机+定制振板单元 | 振荡器主机+定制振板单元 |
| 工作环境 | 0‑40℃，无凝露 | 0‑40℃，无凝露 |
典型应用场景
半导体行业：硅晶圆、蓝宝石晶圆批量兆声清洗，去除亚微米颗粒、助焊剂残留
HDD硬盘产业：磁头、硬盘零部件精密清洗工艺
镜面铝材、易损伤精密器件低损伤清洗
洁净车间自动化槽式清洗产线设备集成配套
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