一、日本 EKUSA EHS 型半导体用超纯水在线加热器 产品概述
本设备为日本 EKUSA 株式会社生产的 EHS 型氟树脂制超纯水在线加热器，专为半导体行业超纯水及腐蚀性药液的连续在线加热设计，采用全 PFA 接液结构，可避免金属离子溶出污染流体，广泛应用于晶圆清洗、光刻工艺、蚀刻液温控等高纯度工艺场景。
二、核心性能特点
高纯度流体兼容，无金属污染
接液部分全部采用 PFA 材质，无金属部件接触流体，可耐受超纯水、等腐蚀性药液，不会造成流体污染，满足半导体行业的高纯度工艺要求。
PID 精准控温，流量适应性强
采用 PID 自动温控系统，温度精度可达 ±1℃，流量波动时温控稳定性优异；低表面温度加热设计，避免流体局部过热分解，保证流体品质稳定。
高可靠性工业设计，安全防护
常用最高压力 0.4MPa、温度 150℃，内置漏液传感器、超温保护、停电保护功能，停电重启时温度上升仅约 10℃，高温工况也可安全运行；加热器采用低温设计，寿命接近半，无需频繁更换。
易维护与远程控制适配
紧凑型立式结构，占地面积小，安装维护便捷；支持外部信号远程控制，可接入自动化生产线，实现远程温控与监控。
三、技术参数
| 项目 | 参数说明 |
|---|---|
| 品牌 | EKUSA（エクサ，日本） |
| 产品类型 | 氟树脂制超纯水在线加热器 |
| 型号系列 | EHS-1~EHS-6 |
| 功率范围 | 25kW~150kW（AC200V 三相） |
| 最高流体温度 | 90℃（标准）/150℃（高温工况） |
| 控温方式 | PID 自动控制 |
| 温度精度 | ±1℃ |
| 常用压力 | 0.4MPa |
| 接液材质 | PFA（可溶性聚四氟乙烯） |
| 外壳材质 | SUS304 不锈钢 |
| 防护功能 | 漏液检测、超温保护、停电保护 |
| 安装方式 | 在线管路式安装 |
四、日本 EKUSA EHS 型半导体用超纯水在线加热器 适用场景
半导体 / 电子行业：晶圆清洗超纯水加热、光刻胶溶剂加热、蚀刻液 / 清洗液温控
精密电子制造：液晶面板、半导体封装工艺中的高纯度药液加热
化工行业：腐蚀性溶液、有机溶剂的无金属污染加热
工艺自动化：连续生产线中流体的在线加热与温控
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