超高真空气体采集与分析检测装置

一、核心性能与技术特点

1. 10⁻⁹Pa 级超高真空防污染设计设备采用涡轮泵直上的 10⁻⁹Pa 级超高真空管路系统，搭配最高 250℃的管路、阀门烘烤除气功能，可清除管路内残留杂质与吸附气体，确保微量样品不受污染，保障分析结果的准确性。
2. 多通道高精度样品分配支持将微量样品气体分配至 5 个独立分析系统，容积控制精度达 ±5%，可同时完成多组平行分析或不同维度的气体检测，大幅提升稀有样品的实验效率与数据可靠性。
3. PLC 智能电机阀门控制所有阀门采用电机驱动，通过 PLC 实现全流程自动化控制，可精准调节阀门扭矩、开关速度与开关顺序，避免机械操作对微量样品的干扰，适配珍贵样品的精细化处理需求。
4. 高灵敏度气体分析配置搭载 2 台高精度四极杆质量分析计，可对极低浓度的气体成分进行定性与定量分析，满足深空探测、行星科学、地质痕量气体检测等领域的科研级检测需求。

二、规格参数表

三、超高真空气体采集与分析检测装置 典型应用场景

• 深空探测样品分析：小行星、彗星、月球探测器带回样品的挥发性物质气体分析；

• 稀有微量气体检测：地质样品、环境样品中的痕量气体成分定性与定量分析；

• 超高真空实验：需要无杂质污染环境的气体实验与材料表面分析；

• 精密科学研究：高校、科研机构的行星科学、化学分析实验室。