静电卡盘专用 ±1KV 高压双路电源，是一款专为静电卡盘工艺优化的高性能直流电源，符合标准机架尺寸，具备低纹波、高稳定、省空间的特点，广泛应用于半导体晶圆、面板玻璃的静电固定工艺场景。
一、核心性能与技术特点
- 双路独立高压输出提供 + 1KV 与 - 1KV 两路独立可调输出，电压范围 0~±1KV，电流范围 0~±100mA，可同时驱动静电卡盘的正负电极，实现晶圆稳定吸附，适配不同工艺需求。
- 极性平滑反转功能内置极性反转电路，可实现输出极性的平滑切换，避免电压突变导致的晶圆损伤或工艺异常，支持晶圆的无冲击、平滑剥离，保障工艺良率。
- 多方式控制与通讯内置工业通讯接口，可直接接入现场总线网络，实现远程控制与数据采集；同时支持模拟电压控制，适配传统控制方式与自动化产线集成。
- 紧凑高稳定设计采用紧凑型机架尺寸，大幅节省机柜安装空间；纹波含量控制在 1% rms 以内，800V~1KV 区间输出误差不超过 ±1%，可提供稳定的高压输出，保障静电卡盘的吸附均匀性与工艺重复性。
二、规格参数
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 外形尺寸 | W209 × D500 × H99 mm（不含凸起物） |
| 质量 | 约 3.8kg |
| 电源输入 | 单相交流电 200V±10% / 50/60Hz |
| 输出电压 | 直流 0~+1KV / 0~-1KV（双路独立可调） |
| 输出电流 | 直流 0~+100mA / 0~-100mA（双路独立可调） |
| 纹波含量 | 1% rms 以内 |
| 输出稳定度 | 在 800V~1KV 范围内，误差不超过 ±1% |
| 保护功能 | 输入过流保护、输出过电流保护、输出电压下垂保护、外部基准电压抑制回路 |
三、静电卡盘专用 ±1KV 高压双路电源 应用场景
半导体制造：晶圆工艺中静电卡盘的吸附与剥离供电；
面板显示工艺：玻璃基板静电固定工艺；
精密工业设备：需要高压静电吸附 / 固定的自动化产线设备；
科研实验：需要双路高压输出、极性反转的静电相关实验。
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