阿里奥斯（ARIOS)株式会社 氦气检漏仪，是日本阿里奥斯公司为满足真空装置内部装配需求开发的专业检漏设备，专为氦质谱检漏工艺优化，广泛应用于真空腔体、管路系统的密封性检测场景。
一、产品背景与设计特点
该设备为阿里奥斯公司自主开发的机型，替代了原有的手动检漏设备，解决了传统设备在复杂工况下难以维持真空度的问题。设备采用不锈钢一体化机箱设计，结构坚固耐用，适配工业现场高频次、多场景的检测作业需求。
二、核心性能与功能优势
- 灵活的手动控制设计配备专用阀门与调节机构，操作人员可通过手动开关阀维持检测器内部真空度，无需额外大流量辅助泵，即可应对大泄漏量或排气压力较高的工况，避免检测中断。熟练操作人员可在条件不佳的现场环境中，快速锁定泄漏位置，大幅提升检测效率。
- 适配多种真空检测场景支持真空腔体、管路接头、密封件等多种部件的泄漏检测，适用于半导体设备、科研真空装置、工业低温管路等场景的密封性验证，确保设备装配后的真空性能达标。
- 配套安全联锁阀门可搭配 ILV-01 型联锁阀使用，该阀门平时可作为手动阀操作，停电时自动关闭，无需压缩空气驱动，为实验室排气系统提供断电安全防护，防止气体回流或意外泄漏。
三、阿里奥斯（ARIOS)株式会社 氦气检漏仪 应用场景
工业真空设备制造：真空腔体、管路系统装配过程中的泄漏检测；
设备维护与检修：对在用真空设备、低温管路进行定期检漏，排查密封隐患；
科研实验场景：实验室真空装置、实验设备的密封性验证与故障排查。
上一篇： 无PPJ 等离子处理用高压脉冲电源
