一、产品概述
PRECISE GAUGES 硅光调芯设备专用仪器PGAL-3000,也常被称为硅光耦合封装机。设备基于精密光学对准技术,为硅光芯片、光纤、光纤阵列 (FA)、SOA 等光电器件提供非接触式、自动化的耦合封装解决方案,可满足从实验室研发到量产线的全流程作业需求。
二、核心性能特点
高精度对位能力:采用激光角度 / 位置传感器实现非接触式测量,位置精度可达 ±0.1μm,角度精度可达 ±0.05°,满足硅光器件亚微米级耦合的精度要求。
全自动调芯流程:集成自动对位、耦合、点胶、固化等全流程工序(可定制),替代人工手动调芯,提升生产效率与良率稳定性。
高速调芯技术:搭载 PZT 压电陶瓷致动器,兼顾大行程与纳米级响应速度,适配量产线高效作业需求。
闭环反馈控制:基于实时光功率反馈的闭环控制算法,自动搜索耦合位置,耦合效率,降低光损耗。
灵活适配性:可兼容不同规格的硅光芯片、光纤、FA 等器件,支持定制化治具与工艺,适配多品类光器件生产。
三、技术参数表
| 参数项 | 指标详情 |
|---|---|
| 测量方式 | 激光角度 / 位置传感器(非接触式),可选配摄像头测量 |
| 定位精度 | 位置精度:≤±0.1μm;角度精度:≤±0.05° |
| 驱动方式 | 精密伺服驱动 + PZT 压电驱动双模式 |
| 控制方式 | 闭环光学反馈控制 |
| 适配器件 | 硅光子芯片、光纤阵列 (FA)、单模 / 多模光纤、SOA 等 |
| 核心功能 | 硅光芯片 - 光纤自动耦合对位、组装、封装一体化 |
四、PRECISE GAUGES 硅光调芯设备专用仪器PGAL-3000 适用场景
光通信领域:400G/800G/1.6T 硅光模块、相干光模块的芯片 - 光纤耦合封装
硅光子器件制造:硅光芯片、PLC/AWG 光波导芯片、光子集成电路 (PIC) 的组装调芯
光互连领域:数据中心高速光互连器件、硅光收发模块的封装生产
半导体光电器件:SOA 半导体光放大器、光电探测器等器件的耦合组装
科研研发:硅光器件封装工艺研发、新型光器件的耦合测试与验证
五、型号说明
PGAL-3000 为系列化设备,可根据用户需求定制不同轴数(多轴六自由度对准)、不同自动化程度的版本,适配从研发实验室到量产生产线的全场景需求。
六、包装与使用说明
标准配置:设备主机、精密运动平台、光学测量系统、控制电脑、专用操作软件、操作说明书、配套线缆、定制化治具(按需配置)。
使用环境:建议在洁净、恒温、无振动的车间 / 实验室环境下使用,以保障设备长期精度稳定性。
操作流程:器件上料→自动对位→耦合调芯→点胶固化→成品下料,流程自动化,降低人工操作门槛。






