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日本yamashitadenso表面缺陷检测设备

日本yamashitadenso表面缺陷检测设备

更新日期:2022-08-22

访问量:120

厂商性质:经销商

生产地址:

简要描述:
日本yamashitadenso表面缺陷检测设备
应用流传已久的魔镜(透光镜)原理,达成实时检测镜面平板基材表面状态的装置。受世界各地的矽晶圆厂所用。

日本yamashitadenso表面缺陷检测设备

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应用流传已久的魔镜(透光镜)原理,达成实时检测镜面平板基材表面状态的装置。受世界各地的矽晶圆厂所用。
非接触、非破坏性的检查,以及免维护的光学系统根据选配,可追加表面缺陷自动判定影像处理软体、自动化搬运装置、影像储存、影像列印等功能。

製品の特長

  • 1即时显示所有表面状态。

  • 2光学系统对应等级1

  • 3光学系统无须维护。

  • 4根据检测内容,可修正检测灵敏度。

检测尺寸从φ100mm至φ300mm
检测内容平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
检测倍率1x / 3x 模式可切换(标准设备)
检测灵敏度检测灵敏度可连续调整
使用光源550nm (固定照度之稳定光源)
镜头高解析度CCD镜头
平台手动平台(标准设备)


用途
镜面晶圆的表面检测
滑线检测
玻璃基板检测
其他镜面基板检测
选配
电动马达检测平移台
自动判定缺陷影像处理装置
影像列印机
搬运装置
  • ※ 可以随时在敝公司内展示。

  • ※ 可将样品寄送过来,之后我们再将影像结果回寄。

日本yamashitadenso表面缺陷检测设备

规格

尺寸从φ100mm至φ300mm
检测内容平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
检测倍率1x / 3x 模式可切换(标准设备)
检测灵敏度检测灵敏度可连续调整
使用光源550nm (固定照度之稳定光源)
镜头高解析度CCD镜头
平台手动平台(标准设备)


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