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日本fuji多组分密度计FUD-1 Model-53

日本fuji多组分密度计FUD-1 Model-53

更新日期:2022-07-12

访问量:218

厂商性质:经销商

生产地址:

简要描述:
日本fuji多组分密度计FUD-1 Model-53
该型号在保留 FUD-1 Model-53 的可维护性和高精度在线测量等优点的同时,采用了用于半导体制造过程的小型单元型变送器。

日本fuji多组分密度计FUD-1 Model-53

产品概览

该型号在保留 FUD-1 Model-53 的可维护性和高精度在线测量等优点的同时,采用了用于半导体制造过程的小型单元型变送器。

多组分密度计的特点

3 个组件中的 2 个组件密度计侧可以实时进行

  • 配备模拟DC 4至20mA(2系统)和数字RS232C作为标准设备

  • 标配测量误差输出和报警输出

  • 标配自诊断功能和错误信息显示

  • 紧凑轻便的单元式变送器可直接安装在线路上

  • 由于使用 PFA 的接液部件的质量和小输出设计,对化学溶液没有影响。


优点

  • 可进行高精度连续测量

  • 免维护,无需定期调整和校准

  • 安装方便,安装过程中无需进行各种调整

  • 通过实时输出轻松反馈过程


用途

  • CMP工艺中的CMP浆料和氧化剂浓度控制等。

  • 清洗过程中清洗液浓度控制(HF+HNO3、HF+H2SiF6等)

  • 蚀刻工艺中蚀刻液浓度控制(TMAH+抗蚀剂、TMAH+Si等)



日本fuji多组分密度计FUD-1 Model-53

规格

模型FUD-1 Model-53
 转换器
测量参数超声波传播速度/温度/电导率
展示LCD(浓度1、浓度2、温度、声速、电导率/各种参数)
输出信号模拟DC4~20mA:2系统(可自由设定浓度值)
数字RS232C(浓度1、浓度2、声速、温度、电导率、错误代码)
报警上限/下限 测量误差:2系统
电源AC100V-240V 50/60Hz两用30VA(也可使用DC24V)
结构体面板安装型(符合 DIN 标准)
环境温度传感器0-50℃
RH 85% 以下(无凝露)
功能输出范围设置功能、报警输出设置功能、密度显示移动平均功能、密度显示偏移和增益设置功能、自诊断功能、故障安全功能、异常值取消功能、温度时间常数校正
选项温度输出(DC4~20mA)
RS485输出(不能与RS232C同时输出)
通道(校准曲线)高达 7 通道
兼容变送器示例SA-20S29 + 电导率计,SA-20S27 + 电导率计



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