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日本fuji单组分密度计FUD-1 Model-13

日本fuji单组分密度计FUD-1 Model-13

更新日期:2022-07-12

访问量:240

厂商性质:经销商

生产地址:

简要描述:
日本fuji单组分密度计FUD-1 Model-13
该型号在保留 FUD-1 Model-13 的可维护性和高精度在线测量等优点的同时,配备了用于半导体制造工艺的小型单元发射器。

日本fuji单组分密度计FUD-1 Model-13

产品概览

该型号在保留 FUD-1 Model-13 的可维护性和高精度在线测量等优点的同时,配备了用于半导体制造工艺的小型单元发射器。

单组分密度计的特点

实时浓度测量成为可能,并且易于构建浓度控制系统。

  • 标配模拟DC4-20mA和数字RS232C

  • 标配测量误差输出和报警输出

  • 标配自诊断功能和错误信息显示

  • 紧凑轻便的单元式变送器可直接安装在线路上

  • 由于使用 PFA 的接液部件的质量和小输出设计,对化学溶液没有影响。


优点

  • 可进行高精度连续测量

  • 免维护,无需定期调整和校准

  • 安装方便,安装过程中无需进行各种调整

  • 通过实时输出轻松反馈过程


用途

  • CMP工艺中的CMP浆料或氧化剂浓度控制等。

  • 稀释过程中各种化学品的浓度控制(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等)

  • 清洗过程中清洗液浓度控制(HF、NH4OH、KOH、IPA等)

  • 蚀刻过程中蚀刻液浓度控制(HF、H2SO4等)



日本fuji单组分密度计FUD-1 Model-13

规格

格式FUD-1 Model-13
测量参数超声波传播速度/温度
展示LCD(浓度/温度/声速/各种参数)
输出信号模拟DC4至20mA(可自由设定浓度值)
数字RS232C(浓度/温度/声速/错误代码)
报警 上限/下限测量错误
电源AC100V-240V 50 / 60Hz(也可使用DC24V)
结构体面板安装型(符合 DIN 标准)、板内安装型(可作为选项集成到防雨箱中)
环境温度0~50℃RH 85%以下(不结露)
0~100℃特殊规格-10~160℃(100℃宽)
功能输出范围设置、报警输出设置、密度显示移动平均、密度显示偏移和增益设置功能、自诊断功能、故障保护功能、异常值取消
RS485输出(不能与RS232C同时输出)
选项温度输出(DC4-20mA)
渠道高达 10 通道
兼容发射器Model-13 : SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5



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