微波炉显微硬度计
微波炉显微硬度计
日本进口fischer微波炉显微硬度计
特征
- 高精度编程 XY 平台甚至可以以 ± 0.5 μm（可选）的定位精度测量很小的结构。
- 使用防风室和主动隔振台可以实现的隔振效果（可选）
- 使用可以单独设置环境的软件 WIN-HCU® 可以实现直观的操作。
主要规格
用于符合 ISO14577 标准的显微硬度测试和材料参数测量的计算机控制测量系统。
| 测量硬度范围 | 0.001- 120,000N / mm2 |
|---|---|
| 负载范围 | 0.1-2,000mN |
| 负载精度 | ≤ 150nN |
| 测距精度 | ≤ 10 点 |
| 推进深度 | 500微米 |
| 显微镜相机 | 整体放大倍率 40X、200X、400X |
| XY 载物台（驱动器尺寸） | X：170mm，Y：140mm |
| 定位精度 | ± 2.0 µm（± 0.5 µm；可选） |
主要应用
- PVD、CVD等用干式涂层（厚度1μm以上）
- LCD隔板压缩试验
- 各种镀膜
