KROSAKI / 黑崎播磨 氮化铝陶瓷加热板

KROSAKI / 黑崎播磨 氮化铝陶瓷加热板 产品细节图与结构

• 基板材质：高纯度氮化铝陶瓷，颜色呈灰色，密度约3.20–3.30 g/cm³。

• 发热图案：通过丝网印刷工艺在陶瓷基板上烧结形成，支持多种温度范围定制。

• 绝缘层：厚度≥25μm，耐压≥1000V，确保高温下电气安全。

• 电源端子：与发热图案热阻相近，无需额外保护措施，结构紧凑可靠。

KROSAKI / 黑崎播磨 氮化铝陶瓷加热板 产品性能

• 导热系数：≥170 W/m·K，热量分布均匀，无局部热点。

• 工作温度：最高约450℃（发热体部分可达600℃），适用于高温工艺。

• 热膨胀系数：与硅晶圆接近，减少热应力导致的变形或开裂。

• 抗热震性：优异，可承受快速升降温循环。

• 化学稳定性：耐酸碱腐蚀，适用于洁净室及腐蚀性环境。

用材与型号

• 主要材料：氮化铝（AlN）陶瓷基板 + 高温烧结金属发热体。

• 可选型号：KROSAKI-AlN系列（具体型号需根据尺寸、功率、电压定制）。

• 尺寸范围：最大可制造直径φ450mm圆形或方形板，厚度可根据需求调整。

用途与应用场景

• 半导体制造：晶圆加热、静电卡盘（ESC）、探针台加热。

• 真空设备：真空卡盘、分子泵加热、腔体恒温控制。

• 分析仪器：质谱仪、色谱仪、X射线衍射仪等精密设备加热模块。

• 其他领域：液晶面板制造、医疗设备、航空航天部件热处理。

包装与运输

• 包装方式：防静电泡沫+硬质纸箱，单件独立包装，防止运输中磕碰。

• 运输要求：避免剧烈震动、潮湿环境，建议恒温恒湿仓储。

使用说明

• 安装前请确认电源电压、功率匹配，接地良好。

• 使用建议低温预热30分钟，逐步升温至工作温度。

• 避免在潮湿或有腐蚀性气体环境中长期运行。

• 定期清洁表面灰尘，保持散热效率。