日本Science Edge InFocus κ FDTR 频域热反射显微镜
设备完整信息:国别‑日本|品牌‑Science Edge(サイエンスエッジ株式会社)|型号‑InFocus κ FDTR|设备类型‑频域热反射显微镜(FDTR微尺度热物性测量仪)
InFocus κ FDTR频域热反射显微镜是日本Science Edge研发的微尺度热物性专业科研仪器,依托频域热反射(FDTR)泵浦‑探测激光原理,利用材料热反射效应实现无接触无损测量,针对薄膜、微纳结构样品,精准获取热导率、界面热阻、体积热容等关键热物理参数,并且支持二维Mapping成像与各向异性热传导分析,解决传统热物性设备无法实现微米级空间分辨测试的痛点,是热管理、微纳传热方向重要科研装备。
日本 Science Edge InFocus κ FDTR 频域热反射显微镜 工作原理简述
445nm泵浦激光做频率调制,周期性对样品表面进行加热;同轴的514nm探测激光照射同一区域,采集样品表面因为温度变化带来的反射光信号改变。通过分析加热激励与温度响应之间的相位偏移,配合三维圆柱热扩散物理模型拟合,解析样品热导率、界面热阻、热容;还可以区分面内和面外热传导,评估各向异性材料传热性能。测试前样品表面需要镀一层金(Au)作为热反射传感换能层。
主要技术规格
| 品牌型号 | 日本 Science Edge InFocus κ FDTR |
| 泵浦激光器 | 445nm,光斑约2μm(20×物镜 NA0.45) |
| 探测激光器 | 514nm,光斑约1μm(20×物镜 NA0.45) |
| 调制频率区间 | 10 kHz ~ 50 MHz |
| 换能传感层 | 金(Au)薄膜 |
| 可测物理量 | 热导率、界面热阻、体积热容,支持各向异性热传导解析 |
| 扫描功能 | 热导率二维Mapping分布成像 |
| 整机尺寸 | 宽505 ×深560 ×高480 mm |
| 整机重量 | 70 kg |
| 可选扩展模块 | 高低温冷热样品台、高分辨拉曼光谱分析模块 |
产品优势
非接触激光测量,样品无损伤,微米级空间分辨,可针对微小微区点位开展测试;
10kHz‑50MHz超宽调制频率范围,适配纳米薄膜到厚层多种类型样品;
三维热扩散模型,可区分面内、面外导热,专门用于各向异性材料研究;
支持Mapping扫描成像,直观观察样品表面热导率空间分布不均匀现象;
可扩展高低温台、拉曼模块,同步完成变温热物性测试、热‑光谱联合表征;
整机一体化集成,出厂完成光路校准,实验室部署简单,无需复杂光学搭建。
典型应用领域
✅二维材料、半导体薄膜:薄膜热导率、层间界面热阻定量测试
✅微电子功率器件:封装层、散热薄膜热管理性能表征
✅多层纳米涂层、功能薄膜热物理性能评估
✅高分子、复合材料、陶瓷材料传热机理科研
✅各向异性新型材料,解析面内/面外差异化热传导特性
✅高校材料、物理、半导体实验室,企业研发热管理、失效分析
该设备为日本专业热物性显微镜,面向微纳尺度传热科研场景,实现传统设备难以完成的微区、界面热物性定量测量。






