半导体 ESC 静电卡盘驱动电源

静电卡盘专用±1KV高压双路电源｜半导体ESC静电卡盘驱动供电设备

静电卡盘专用 ±1KV 高压双路电源 半导体 ESC 静电卡盘驱动电源 产品简介：静电卡盘专用±1KV高压双路电源是面向半导体设备静电卡盘（ESC）开发的专用高压驱动电源。半导体工艺中，晶圆需要依靠静电卡盘产生静电力完成基板吸附固定，本电源提供双路独立±1KV高压输出，为静电卡盘提供极性可控的高压激励，实现晶圆可靠吸附与工艺结束后的脱附释放。电源输出电压可调节，输出纹波低，电压输出稳定，避免电压波动造成晶圆夹持不稳、偏移等问题。设备集成多重安全防护，当出现过流、短路异常工况时，能够迅速切断高压输出，同时输出故障告警信号，保护静电卡盘组件以及晶圆工件不受损坏。设备既可以通过本地面板完成电压参数设置，也配备外部控制接口，能够接入半导体设备整机控制系统，实现设备自动化联动，适配产线自动化运行需求。整机采用机架式机箱结构，方便安装于半导体设备机柜内部，适合设备集成商配套集成使用。设备针对半导体车间工况做可靠性优化，支持长时间不间断连续工作，是半导体工艺设备中静电卡盘系统的配套供电单元。

技术参数

静电卡盘专用 ±1KV 高压双路电源 半导体 ESC 静电卡盘驱动电源 产品核心优势

• 双路独立高压输出，匹配静电卡盘双极驱动，保障晶圆吸附、脱附动作稳定可靠；

• ±1KV电压连续可调，输出纹波低，电压输出平稳，减少夹持过程电压扰动；

• 多重安全保护，过流、短路故障快速切断高压，输出故障信号，保护卡盘与晶圆；

• 本地操作+外部控制双模式，可对接整机控制系统，实现设备自动化联动；

• 机架式机箱，结构紧凑，便于半导体设备机柜内部集成配套；

• 针对半导体工况优化，可长时间连续运行，满足产线设备高可靠性需求。

典型应用领域

半导体工艺设备静电卡盘ESC驱动供电；各类晶圆、基板静电吸附夹持系统供电；真空工艺腔体内部静电卡盘配套电源；半导体设备整机集成配套使用场景。