PHF‑2K‑P 脉冲型高频高压等离子电源

PHF‑2K‑P脉冲型高频高压等离子电源｜真空等离子工艺专用脉冲供电主机

PHF‑2K‑P 脉冲型高频高压等离子电源 等离子处理机供电主机 产品简介：PHF‑2K‑P脉冲型高频高压等离子电源为真空等离子处理系统的专用供电设备，专门为材料等离子表面处理工艺开发。设备采用脉冲输出工作模式，区别传统连续式电源，脉冲工作方式能够有效控制热输入，大幅降低被处理工件的热累积，对于薄膜、高分子等热敏基材，能够有效避免受热变形、老化损伤问题。该电源输出稳定的高频高压，能够激发真空腔体内产生均匀等离子体，可实现试样表面清洗除污、表面活化、接枝改性、微刻蚀等多种工艺。设备自带操作控制面板，工艺参数可以直观设定与调整，同时预留外部控制信号接口，能够和真空腔体设备进行联动，实现整套系统协同运行。设备内置的过载、异常保护机制，提升设备运行安全性。电源主机与处理腔体采用分体布局，安装摆放灵活，既适合高校科研实验室做材料工艺研发实验，也可以用于中小试样小批量等离子处理生产，广泛用于高分子、半导体、新材料等领域。

PHF‑2K‑P 脉冲型高频高压等离子电源 等离子处理机供电主机 技术参数

产品核心优势

• 脉冲输出架构，减少热输入，热敏材料加工不易发生热变形损伤；

• 高频高压输出稳定，激发等离子均匀，保障表面处理效果一致性；

• 本机面板参数可调，操作直观，同时支持外部联动控制腔体；

• 一机兼容清洗、活化、改性、刻蚀多种等离子工艺，通用性强；

• 多重电路保护，过载异常自动防护，设备运行安全可靠；

• 分体式结构，主机腔体分离，布局灵活，适配实验室与小产线。

典型应用领域

高分子薄膜、塑胶件等离子表面活化改性；半导体元器件等离子清洗除污；高校科研实验室等离子工艺实验；各类基材表面微刻蚀、化学接枝处理；粘接印刷前等离子预处理，提升表面附着力；中小试样真空等离子整套工艺配套。