AYUMI ML-03M 超高真空全金属角阀

一、日本 AYUMI ML-03M 超高真空全金属角阀 无 O 圈全金属硬密封微型 CF 真空阀 产品基础信息

二、核心规格参数

三、产品核心性能优势

1. 全金属无有机密封件，无碳氢析出，保障薄膜、样品洁净无杂质污染

常规真空阀依赖橡胶O圈，高温烘烤会释放有机碳氢杂质，造成镀膜针孔、电镜样品背景污染；ML-03M纯金属刀口密封结构全程不含塑胶，满足半导体、精密分析设备超高洁净真空要求。

2. 整机可200℃高温烘烤除气，快速脱除吸附水汽，短时间抵达超高本底真空

无橡胶受热变形失效风险，整阀可随腔体同步通入高温烘烤，快速去除阀体内壁吸附水汽与杂质气体，大幅缩短分子泵、离子泵抽至高真空的等待节拍，提升设备稼动率。

3. 极低氦质谱漏率，长期连续运行真空稳定，无缓慢泄压漂移

精密金属刀口贴合密封，静态氦漏率低至1×10⁻¹² Pa·m³/s，设备全天候量产/实验运行不会出现真空度持续下滑，无需频繁停机检漏维护。

4. 电解抛光316L不锈钢内腔，低出气率，腔体极限真空上限更高

阀体内壁镜面电解抛光处理，相比普通机加工不锈钢大幅减少水汽、气体分子吸附，同等抽气条件下可实现更低本底真空，适配高分辨电镜、超薄薄膜沉积严苛工况。

5. 多圈手动渐进式调节，可精准微量控制管路真空流导

区别普通通断阀只能全开/全关，顶部微调旋钮可停留在任意开度，精准控制真空抽速、微量进气流量，适合工艺研发、微量分压调节场景。

6. 微型CF紧凑型角式阀体，狭小设备腔体、密集管路轻松安装

小型化机身设计，适配TEM/SEM电镜镜筒、小型离子设备、实验室微型真空平台狭小安装空间，不占用腔体核心作业区域。

7. 无橡胶老化损耗结构，耐受高温、等离子、特种工艺气体，使用寿命更长

不存在O圈硬化、溶胀、腐蚀失效问题，面对等离子刻蚀、惰性高温工艺气体长期工作密封性能稳定，大幅减少密封件更换耗材成本与停机维护时间。

8. 关闭状态单侧承压大气压，腔体开盖维护无需整台设备重新抽高真空

阀门锁紧后一侧通大气、另一侧腔体维持超高真空不泄压，更换样品、腔体检修仅需局部放气，大幅缩短设备重启抽真空时长。

四、日本 AYUMI ML-03M 超高真空全金属角阀 无 O 圈全金属硬密封微型 CF 真空阀 适用行业与应用场景

• 半导体薄膜产线：PVD溅射、CVD沉积设备超高真空管路隔离阀，杜绝有机杂质污染膜层；

• 电子显微分析实验室：TEM透射电镜、SEM扫描电镜镜筒真空隔绝调节阀；

• 离子精密加工设备：离子注入、离子刻蚀、离子束抛光真空通断控制；

• 表面科学分析平台：XPS、LEED等超高真空表面能谱分析腔体管路；

• 真空热处理设备：无氧化金属退火、超高真空烧结炉气体隔离阀；

• 真空计量校准仪器：超高真空标准校准腔体微量流导调节。