一、日本 Applics OM-101-01 分离式低浓度溶解臭氧浓度计 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Applics OM-101-01 分离式低浓度溶解臭氧浓度计 |
| 检测原理 | 液相紫外分光吸收法，无需化学显色试剂，无耗材消耗 |
| 量程特性 | 低浓度微量ppb专用量程，适配超纯水微量溶解臭氧监测，无低浓度盲区 |
| 结构形式 | 分体分离式：流通检测单元 + 独立数显控制主机，可远距离分装布线 |
| 核心应用 | 半导体超纯水、实验室去离子水微量溶解臭氧在线连续监测与闭环调控 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 标准规格 |
|---|---|
| 水路材质 | 流通池石英光学腔体+特氟龙管路，耐臭氧氧化、无金属离子析出，适配超纯水 |
| 安装模式 | 流通单元串接管道旁路，控制主机台式/壁挂两用，分体信号线远距离传输 |
| 人机交互 | 控制主机前置数码管，实时直观显示液相瞬时溶解臭氧浓度 |
| 信号输出 | 模拟电压/电流信号 + RS485数字通讯双路同步输出，兼容PLC自动化采集 |
| 联动功能 | 通讯协议适配臭氧水发生器，可实现水中臭氧浓度闭环自动调节投加量 |
| 运行能力 | 支持7×24小时纯水回路不间断在线监测、间歇式实验室液相臭氧实验检测 |
| 拓展配套 | 纯水旁路取样阀组、上位机数据采集软件、标准低浓度臭氧校准水样、壁挂支架可选加装 |
| 洁净特性 | 水路无金属接触部件，不会污染半导体高纯超纯水，满足电子制程水质标准 |
三、产品核心性能优势
1. 分体分离式结构，狭小水路与控制主机可分开远距离安装
小型流通检测单元体积紧凑，可直接串接狭窄纯水管道旁路；数显控制主机单独布置在操作台、控制柜内，二者通过信号线远距离连接，解决纯水管路现场潮湿、空间狭小无法放置控制仪表的工程痛点。
2. 紫外液相光学检测，全程无需化学试剂，长期运维
区别电化学、化学比色法溶解臭氧检测仪，依靠紫外光路直接检测水中臭氧，不需要定期采购显色试剂、更换电解液传感膜，大幅减少产线/实验室耗材采购成本与停机维护工时。
3. 专为低ppb微量水样优化光路，超纯水微量臭氧测量无盲区
光路针对超纯水ppb级微量溶解臭氧校准优化，相比通用宽量程溶解臭氧仪表，低浓度区间分辨精度更高，无读数盲区，匹配半导体纯水微量杀菌、液相材料氧化精密实验监测需求。
4. 石英+特氟龙全防腐洁净水路，适配半导体高纯超纯水制程
所有与水样接触部件均为石英、特氟龙材质，不含不锈钢、铜等易析出金属的金属结构，通入超纯水不会引入杂质离子，符合晶圆制造、精密电子清洗高纯水质管控严苛标准。
5. 本地数显+双路同步信号输出，人工巡检与自动化数据追溯两用
控制主机数码屏可现场直接读取实时溶解臭氧数值；同步输出模拟量、RS485数字通讯两路信号，接入工控PLC可全天自动存储浓度变化曲线，用于纯水制程工艺归档、良率追溯。
6. 可与臭氧水发生器闭环联动，自动稳定水路微量臭氧浓度
设备配套标准通讯协议，可对接Applics臭氧水发生设备，检测仪实时反馈实测水中臭氧浓度，发生器自动上调/下调臭氧投加量，全程维持水路恒定微量臭氧浓度，无需人工持续值守调试参数。
7. 连续流通式采样，适配纯水循环管路24小时不间断在线监控
流通池支持纯水持续循环流过，无间断实时采集水样检测，可全年7×24小时在线运行，适配半导体工厂不间断纯水生产制程、长期液相臭氧科研实验。
四、适用行业与应用场景
半导体晶圆制造车间：超纯水系统微量溶解臭氧杀菌浓度在线闭环监控
高校水处理材料科研实验室：纯水体系液相臭氧氧化、消毒机理基础实验浓度监测
精密电子清洗制程工位：光刻清洗高纯纯水微量溶解臭氧实时连续检测
纯水设备研发实验室：小型臭氧纯水发生器输出微量溶解臭氧标定校准
生物无菌纯水工艺：实验室无菌纯水微量臭氧消杀浓度安全监控
二维材料液相改性工位：反应槽纯水臭氧氧化体系溶解臭氧实时浓度追踪
