ADTEC高周波射频电源

一、ADTEC高周波射频电源TX 系列 核心性能与技术特点

1. 耐反射线性放大技术设备搭载耐反射 AB 级线性放大器，可承受等离子负载波动带来的高反射功率，有效降低工艺过程中因负载变化导致的电源损坏风险，提升复杂工艺环境下的运行稳定性，减少设备停机维护成本。
2. 紧凑型半机架设计相比前代机型，TX 系列采用小型化半机架机箱，宽度与重量均降至原有机型的 1/2 以下，大幅节省机柜安装空间，适配产线设备集成与实验室紧凑布局需求，便于在有限空间内完成多设备安装。
3. 丰富的扩展功能配置设备支持脉冲输出模式，可调节脉冲占空比，实现等离子体精细化控制；可选 VF 可变频率功能，可在设定频段内微调输出频率，优化不同负载下的等离子体匹配效果；内置电弧抑制功能，可快速识别并抑制等离子弧光，保护电源与工艺腔室，降低工艺中断风险。

二、规格与适配性

• 输出功率覆盖 300W~5000W，主流型号含 300W、600W、1000W、2000W、5000W，可根据工艺需求灵活选择；

• 标准输出频率为 13.56MHz，支持 VF 可变频率功能，适配不同工艺的等离子体激发需求；

• 冷却方式可选风冷或风冷 + 水冷，适配不同功率段与工况环境；

• 支持 RS-232 通讯接口，可选配 EtherCAT 工业通讯模块，可无缝接入自动化产线，实现远程控制与数据交互。

三、ADTEC高周波射频电源TX 系列 应用场景

• 半导体制造：晶圆等离子刻蚀、薄膜沉积、表面清洗工艺；

• 面板与光学：LCD/OLED 面板清洗、光学元件表面改性；

• 材料处理：高分子材料表面活化、提升粘接与涂覆附着力；

• 科研研发：等离子体物理实验、新型工艺开发与验证。