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脉冲型高频高压等离子电源

脉冲型高频高压等离子电源

更新日期:2026-04-30

访问量:7

厂商性质:经销商

生产地址:日本

简要描述:
PHF-2K-P 脉冲型高频高压等离子电源,专为等离子体发生设计,可输出 0~±15kV 高压脉冲,频率 1~30kHz 可调,适配常压 / 真空等离子工艺场景。
PHF-2K-P 脉冲型高频高压等离子电源,是专为等离子体发生开发的工业级电源设备,可输出 0~±15kV 的高压脉冲信号,支持 1kHz~30kHz 频率连续可调,适配大气压与真空环境下的等离子体放电工艺,为表面处理、薄膜沉积、废气处理等场景提供可靠的能量供给。
设备核心采用脉冲型高频高压设计,输出波形为上升 / 下降沿极快的脉冲波,能高效激发等离子体,同时降低平均功率,减少电极与工件的热损伤,适合塑料、金属、半导体等多种材料的温度敏感型处理工艺。输出电压范围为 0~±15kV,可提供等离子体起弧与维持所需的高电场强度,适配空气、惰性气体、反应性气体等多种介质的放电需求;振荡频率在 1kHz~30kHz 范围内连续可调,用户可根据工艺需求优化等离子体密度与能量分布,实现对表面处理效果的精准控制。
设备采用分体式机箱设计,主机与高压输出箱分离,高压部分隔离处理,提升设备运行安全性;主机配备数显仪表,可直观监控电压、频率等关键参数,便于工艺调试与运行监控。设备专为大气压等离子体发生开发,也可在真空环境中稳定驱动等离子体放电,兼顾常压 / 真空两种工艺场景的使用需求,适配不同工业生产与科研实验场景。
PHF-2K-P 脉冲型高频高压等离子电源 广泛应用于多个行业场景:表面改性处理中可用于塑料、金属材料的等离子清洗、活化、刻蚀,提升表面附着力;薄膜沉积工艺中可用于等离子体辅助气相沉积,制备功能性涂层;环保领域可用于有机废气、工业尾气的等离子体降解处理;也可用于高校 / 研究所的等离子体物理实验、放电特性研究,以及半导体、电子元件的等离子去胶、污染物去除等工业清洗场景。设备运行稳定,为各类等离子体工艺场景提供可靠的电源保障。同时提供技术支持与售后维护服务,帮助用户解决安装调试、工况适配、日常维护等问题,确保设备长期稳定运行。


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