1. 产品概述
日本 Kotec 2.45GHz 50W 微波振荡器,是专为半导体真空、微波等离子体应用设计的固态微波电源。产品采用全固态半导体器件替代传统磁控管,实现频率、功率的连续可调,适配不同工艺参数需求,可满足工业生产与科研实验室的微波能量供给需求。
2. 核心性能与参数
工作频率:2.4GHz~2.5GHz 连续可调,中心频率 2.45GHz
输出功率:0~50W 连续可变,旋钮式调节
输入 / 输出阻抗:50Ω 标准阻抗
输出接口:SMA 同轴连接器
供电规格:AC 100V,最大电流≤2.5A
冷却方式:内置散热片 + 冷却风扇风冷
外形尺寸:W150×D200×H120mm,桌面式紧凑型设计
设备重量:约 2.3kg
显示功能:LCD 显示屏,实时显示入射 / 反射功率、振荡频率、RF 开关状态
3. 日本 Kotec 2.45GHz 50W 微波振荡器 产品特点
全固态设计:采用半导体固态器件,无磁控管灯丝老化、寿命限制问题,运行稳定,维护成本低
双连续可调:频率、功率均可连续调节,适配不同等离子体工艺需求
实时状态监控:LCD 屏实时显示运行参数,便于工艺调试与故障排查
紧凑型设计:桌面式小体积,适配实验室研发、小型真空设备集成
高适配性:标准 50Ω 阻抗 + SMA 接口,可直接对接各类微波天线、真空腔体、等离子体发生装置
4. 适用场景
广泛应用于半导体晶圆真空清洗、刻蚀、表面改性,微波等离子体生成、材料表面处理,科研实验室等离子体物理研究、材料改性实验,以及小型微波加热等工业与科研场景。
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