晶圆边缘多尺度检测仪

項目（Item）

产品概述

核心优势与性能特点

1. 高亮度精准照明

• 在 180mm 标准工作距离下， 超高辉度照明装置（UIH 系列）的中心亮度可达60 万勒克斯，能清晰凸显微米级表面划痕、内部杂质、气泡等常规光源难以识别的微小缺陷，大幅提升目视检测可靠性。

• 光路均匀性优异，50 万勒克斯照射直径达 φ45mm，避免局部过亮或暗区导致的漏检。

2. 灵活适配多场景

• 亮度可调幅度达10:1 以上，可根据不同工件材质（透明玻璃 / 金属 / 半导体晶圆）、表面光洁度灵活调节，适配多样化检测需求。

• 双倍照射模式下（360mm 距离）仍保持 15 万勒克斯亮度，兼顾小尺寸工件精细化检测与大尺寸工件高效筛查。

3. 稳定耐用与安全设计

• 灯泡寿命表现优异：高亮度下可持续工作≥50 小时，半亮度下寿命≥800 小时，降低耗材更换频率与运维成本。

• 风扇强制风冷 + 断电后持续冷却功能，有效控制灯箱温度，避免高温对热敏性工件造成形变、变色，同时延长灯泡使用寿命。

• SCR 相位调光技术，亮度调节平滑稳定，无频闪干扰，长期作业不易造成视觉疲劳。

4. 便捷易用的工程设计

• 整机约 7kg，结构紧凑，便于实验室或生产现场移动部署，无需复杂安装，通电即可投入使用。

• 无额外发热监测与冷却保持功能冗余设计，操作逻辑简洁，降低现场使用门槛。

典型应用场景

• 半导体领域：抛光晶圆雾度检测、晶圆表面微小划痕与异物识别。

• 光学领域：手机玻璃、光学镜头、平板显示面板的表面缺陷与内部气泡检查。

• 电子领域：硬盘、精密电子元器件的外观瑕疵与内部杂质目视确认。

• 精密制造：各类高精度金属 / 非金属部件的表面质量管控。

使用注意事项

1. 主电源关闭后，风扇将持续运转至灯箱内部温度降至 40℃以下，此过程为正常保护机制，请勿强行断电。

2. 建议根据工件材质与检测需求调节亮度，避免长时间使用高亮度以延长灯泡寿命。

3. 设备适配 AC100V 电源，使用前需确认供电规格匹配，避免电压异常导致设备损坏。