日本sonic超声波微量液体流量计μLF-300S
IPA、纯水、药液等半导体制造工序中的微小区域的流量控制
・1ml/min起的微量流量测量
・通过数字信号处理的微量流量高精度测量
・传感器部采用非接触结构有流体
・范围广
日本sonic超声波微量液体流量计μLF-300S
产品规格
■ 微小液体流量计（分体式）
µLF-300S
| 模型 | μLF-300S + μLT-8I（1/8 英寸）或 μLF-300S + μLT-4I（1/4 英寸） |
| 测量原理 | 超声波传播时差法 |
| 待测液体 | 纯水、水溶液、各种化学溶液 * 如果使用水以外的液体，请事先确认。 |
| 适用流体温度范围 | 15°C 至 80°C *如果在 60°C 或更高温度下使用，请提前检查 |
| 流体压力 | 0.5MPa以下 |
| 流体运动粘度 | 100mm^2/秒或更小 |
| 流量范围 | 0 毫升/分钟至 1000 毫升/分钟 (μLF-300S + μLT-8I) 0 毫升/分钟至 1000 毫升/分钟 (μLF-300S + μLT-8I) |
| 测量精度 | ±0.5%RD (1/8 inch : 200 ~ 1000ml/min 条件：常温、恒温水) ±1ml/min (1/8 inch : 0 ~ 199ml/min) ±0.5%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min 条件：常温、恒温水) ±4ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min) |
| 重复性 | ±0.2%（纯，液温±0.5℃，30秒平均值） |
| 电源 | DC24V ±10% |
| 能量消耗 | 3.6W以下 |
| 重量 | 传感器 240g，检测器 70g |
| 尺寸 WxHxD(mm) | 传感器 97 x 49 x 127 检测器 90 x 25 x 20（不含管） |
| 检测单元 | |
| 管材 | PFA（氟树脂） |
| 管径 | 1/8 英寸外径：3.17 毫米，内径：2.17 毫米，1/4 英寸外径：6.35 毫米，内径：4.35 毫米 |
| 结构体 | 相当于IP65 |
| 附属电缆 | 5m，连接器连接 |
| 输入部分 | |
| 数字输出 | 4 线 RS-422、4 线 RS-485 |
| 模拟输出 | 4-20mA（瞬时流量），负载电阻500Ω以下 |
| 集成脉冲输出 | 1ch（集电极开路） |
| 报警输出 | 1ch（集电极开路） |
| 接点输入 | 1ch（零流量设置或累计清除） |
| 按键输入 | 4 输入键 |
