日本pureron排气过滤器FBA系列
日本pureron排气过滤器FBA系列
排气过滤器 FBA系列
制造半导体元器件装置在装填-闭锁真空室（load-lock chamber）和传送室（transfer chamber）里进行真空破坏，那时候浮粒子会卷起来和发生过渡性乱流，这些都会导致晶片损坏。跟以往的方法：把氮气缓慢地吹进到室内—相比，只用FBA排气过滤器就能够避免那样现象且提高生产率。
特点
- 全材质用不锈钢SUS316L
- 优良的耐热性
- *过滤精度
- 圆筒型过滤体可以从顶端和周围都排气
| 过滤精度 | 0.003μm |
|---|---|
| 常用压力 | 1MPa未满 |
| 使用温度 | 400℃ |
| 加热温度 | 400℃ |
| 接触气体材质 不锈钢 | SUS316L |
| 接头 | 1/4“和3/4”tube，1/4“和1/2”垫圈封口，各种法兰※ |
排气过滤器
- FBA系列： 过滤精度0.003μm
特点
- 全材质用不锈钢SUS316L
- 优良的耐热性
- *过滤精度
- 圆筒型过滤体可以从顶端和周围都排气
特点
- 全材质用不锈钢SUS316L
- 优良的耐热性
- *过滤精度
- 圆筒型过滤体可以从顶端和周围都排气
特点
- 全材质用不锈钢SUS316L
- 优良的耐热性
- *过滤精度
- 圆筒型过滤体可以从顶端和周围都排气
特点
- 全材质用不锈钢SUS316L
- 优良的耐热性
- *过滤精度
- 圆筒型过滤体可以从顶端和周围都排气
