日本pureron内置式陶瓷气体过滤器PGF系列
日本pureron内置式陶瓷气体过滤器PGF系列
- 高过滤精度
在超微LSI制造工艺中,要求必须将原料气体以高纯度的状态输送到使用点。因此原料气体的高纯度化自不必言说,管道系统的超净化亦是一大重点。Pureron Japan 为顺应这一时代的需求,研制出了在元件中使用了陶瓷的全新过滤器,从而实现了具有长久稳定状态的0.003μm的高过滤精度。 - 蚀刻和薄膜形成时必*高选择性
在追求高选择性的过程中,极其重要的一点是去除水、氧气等不纯物的问题。为了切实地做到去除不纯物,首先必*,是在高温状态下进行烘烤。从该观点出发研制出的陶瓷过滤器可进行200℃的高温烘烤。 - 零维护实现成本削减
能够根据粒子粒径大小分阶段进行过滤的三层结构,因此几乎不会有堵塞的问题。并且与以往的过滤器相比,具有高耐久性、高耐热性特征的陶瓷过滤器不会在使用过程中出现故障。所以不会因生产线暂时中断而带来经济损失,并可长期持续地削减成本。
过滤精度 | 0.003μm(但是,纯水过滤时は0.1μm) | |
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推荐流量 | 10~200ℓ/min(各型号区别:参考流量特性曲线) | |
设计压力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本产品全部经过14.7MPa的耐压测试后出货。但是,依据日本国内的高压气体保安法,使用压力的显示和使用是不超过1MPa。关于1MPa以上的高压煤气认定品,请询问我们。 |
常用压力 | 1MPa(145PSIG)未满 | |
容许差压 | 9.6MPa (1,392PSIG) at20℃ | |
连续使用温度 | 120℃ | |
烘烤温度 | 200℃ | |
外部泄漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | |
构成材料 | 外罩:SUS316L 内表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 元素:氧化铝陶瓷(Al2O3) 密封圈:PTFE | |
连接零件 | 1/4"、3/8"、1/2"、3/4" Gasket seal、 Compression seal、UPG®、其它 |