日本ACE排气压力控制器EPS5000 series
日本ACE排气压力控制器EPS5000 series
主要用途
- ♦单晶圆清洗设备的腔室压力控制
- ♦清洁送风室和清洁卡车室的压力控制
- ♦受排气管压力波动影响的设备和工艺
- ♦液晶气刀罐排气压力控制
- ♦洁净室的排气压力控制
可从5A开始
| 物品 | EPS-5200 | EPS-5150 | EPS-5100 |
| 连接管口径 | 200A | 150A | 100A |
| 流量范围（一次侧） | 0.5至15 Nm3 /分钟 | 0.5-10 Nm3 /分钟 | 0.3-5 Nm3 /分钟 |
| 如果流量小于最小流量，则可能无法达到设定压力。 | |||
| 压力损失 | 50 Pa at 15 Nm3 / min（空气） | 10 Nm3 / min时20 Pa以下（空气） | 10 Nm3 / min时20 Pa以下（空气） |
| 控制阀连接 | 200A管道 | 150A水暖 | 100A管道输出 |
| 调整压力范围（一次压力） | -50至-999Pa（取决于与大气压和二次压力的压差） | ||
| 二次压力（阀门下游压力） | （控制压力-50）Pa以下 | ||
| 如果压差小于此值，则主要调节范围将变窄。 | |||
| 压力精度 | 满量程的±2％ | ||
| 控制纹波（稳定控制期间的变化） | 满量程的±1％（在二次压力波动的±10 Pa内） | ||
| 耐压（一次压力） | 50kPa以内（与大气压的压差） | ||
| 反应性 | 在2秒钟内达到设置的98％（典型值） | ||
| 流体温度 | 10-50℃ | ||
| 主机环境温度（精度保证温度） | 15-35℃ | ||
| 电源电压 | 24V DC±10％ | ||
| 外部输出 | 压力信号：1-5V DC | ||
| 报警：NPN晶体管集电极开路DC 30V <100mA | |||
| 控制器（CD-100） | 现场设置或外部设置均可切换 | ||
| 外部设定信号 | 压力设定信号：4〜20mA | ||
| 阀门：强制打开，控制 | |||
| （选件）控制/打开（C / O）：24V DC ON / OFF | |||
| 报警信号 | 压差（可选设置） | ||
| 身体异常（包括压力控制器异常） | |||
| 串行通讯 | RS485 | ||
| 供气（N2）压力 | 0.3±0.1兆帕 | ||
| 每个端口 | Φ6mm一触式（阀门，电动气动部分） | ||
| Φ4mm一键式（用于压力测量） | |||
| 阀门的供应管道是可选的 | |||
| 气体接触材料 | PVC，Viton，EPDM | ||
| 安装姿势 | 自由 | ||
| 控制阀状态 | 电源关闭时保持阀状态 | ||
